赛卡司（SAI KASI）数字干涉仪是一种基于激光干涉原理的超精密三维形貌测量系统。利用频率干涉和相位分析技术，通过参考镜与被测工件表面反射光的干涉条纹，解算出表面微观形貌与波前误差。它能够以亚纳米量级的重复精度，对平面、球面及非球面等光学表面、精密机械零件表面进行定量检测，产品满足 JJG28《平晶检定规程》中对于平面平晶、平行平晶等的检定要求。